Об институте

Координаты

Дирекция

Структура

Лаборатория наноструктур и тонких плёнок >>

Международное сотрудничество

История

Личные страницы

Архив

ЛАБОРАТОРИЯ НАНОСТРУКТУР И ТОНКИХ ПЛЁНОК Заведующий лабораторией: к.ф.-м.н. Олег Алексеевич Новодворский В Лаборатории ведутся работы по лазерно-плазменному напылению тонких пленок, исследования воздействия лазерного излучения на поверхность материалов В Лаборатории работы по лазерному напылению тонких пленок ведутся с 1987 года. За это время разработано и изготовлено технологическое оборудование, на котором успешно развиты технологии напыления таких материалов, как полупроводников (InGaAs, PbTe, ZnO) и сложных окислов (YBCO, SrTiO3, ZrO2:CeO2, SrBaTiO3), квантоворазмерных плёнок Bi и Ta, металлов. Всесторонне исследован эрозионный факел при абляции ультрафиолетовыми эксимерными лазерами в процессе лазерно-плазменного напыления, изучены условия управления энергетическим спектром эрозионного факела в процессе лазерно-плазменного напыления пленок, что оказывает решающее влияние на условия создания сверхтонких пленок и их структурные характеристики. Лаборатория тесно сотрудничает с такими институтами, как Институт радиотехники и электроники РАН (ИРЭ РАН), Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет) (МИСиС), Физический институт им.П.Н.Лебедева РАН (ФИАН), Зарубежный партнер - Institute for Semiconductor Technology and Microsystems, Dresden University of Technology (IHM TU Dresden)